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マスクが不要、高信頼性、多重露光方式採用
次世代PCBプロセスへの対応
Hitachi独自の超高速RIP(Super Real-time Controller)
を搭載
基板の伸縮に合わせた高精度露光を実現
台形補正機能対応可能


 
追加説明
 
1)高品質, 高精細パタン描画の実現
High-precision & Repeatability: Machine & Alignment Accuracy
High-quality resolution L/S=10um(DFR thickness:25um)
 
仕 様
DE-S SERIES:標準 L/S=25um対応
DE-H SERIES:高精度 L/S=10um対応
項 目 Unit DE-3DS DE-6UH
描画サイズ mm 610 x 510
パネルサイズ mm 650 x 550 x t5
軸構成 - X, Y, Z and
X,Y軸位置フィードバック mm ±0.0001 Linear scale
位置精度 mm ±0.005 ±0.003
パネル保持方式 - Vacuum
アライメント方式 - Auto-Alignment[CCD camera]
描画幅 mm 258/scan 255/scan
光源 - 405nm Laser-diode
スポットサイズ mm 0.01 0.0035
CNC装置 - H・MARK-30
電源電圧及び容量 V Ø3 AC200V, 50Hz±10%
Ø3 AC220V, 60Hz±10%
KVA 14
Air圧及び容量 KPA 490~590
/min 10
 
設置図(詳細図面は別途要請願います。)